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| 樣品臺尺寸 | 4英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸 | 樣品臺行程 | XY軸110mm，Z軸10mm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào) |
|---|---|---|---|
| 樣品臺位移精度 | 3μm | 背電極測試功能 | 可引出背電極 |
| 樣品臺真空吸附 | 進口無油真空泵，7L/min | 樣品固定方式 | 環(huán)形真空吸附 |
| 樣品臺定制化 | 可定制（尺寸/材質(zhì)/鍍金/背光） | 探針座行程 | XYZ三軸13mm |
| 探針座調(diào)節(jié)精度 | 3μm | 探針座固定方式 | 可調(diào)磁力吸附（可選配真空吸附，螺絲固定） |
| 接口形式 | 香蕉插頭、鱷魚夾、BNC、SMA、N同軸接口/三同軸接口 | 成像顯微鏡 | 雙目體式顯微鏡（可升級金相顯微鏡） |
| 放大倍數(shù) | ~200倍（最大可升級到~1000倍） | CCD | 2000W高清彩色相機 |
| 顯微鏡位移行程 | XY行程25mm*25mm，分辨率3μm | 探針座數(shù)量 | 標配 3 個 |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品介紹
TLRH系列 譜量光電 精密型基礎(chǔ)測試探針臺是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而特定設(shè)計的一款高精密高穩(wěn)定探針臺，其較高的位移調(diào)節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制，已成為包括場效應(yīng)管在內(nèi)的多端器件IV測試的理想之選。
技術(shù)優(yōu)勢
.模塊化設(shè)計，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試；
. 最大可用于12寸以內(nèi)樣品測試;
.探針臺整體位移精度高達3um，樣品臺精密四維調(diào)節(jié)；
. 兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試；
. 滿足1um以上電極/PAD使用;
. 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;
. 探針座采用進口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動，無回程差設(shè)計;
. 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座；
. 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動方式。
模塊介紹
精密型基礎(chǔ)測試探針臺圖片
詳細模塊配置及參數(shù)說明
選型表
相關(guān)配件
多種精度，多種夾具類型探針座
同軸線纜，三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學(xué)測試夾具
電磁屏蔽箱
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實驗等。
譜量光電可根據(jù)客戶實際應(yīng)用需求，定制配套譜量光電 精密型基礎(chǔ)測試探針臺，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯(lián)系詳詢。