Semi-KLEEN Quartz石英等離子體清洗機(jī)旨在滿足半導(dǎo)體行業(yè)的堅(jiān)韌要求。它可用于電子束復(fù)查系統(tǒng)（EBR）、電子束檢測系統(tǒng)（EBI）、CD-SEM、電子束光刻系統(tǒng)、EUV 光刻（EUVL）和 EUV 掩模檢測器。除了 EM-KLEEN 原位等離子體清洗機(jī)的所有標(biāo)準(zhǔn)硬件功能，如壓力傳感器、自動氣流控制器、等離子體強(qiáng)度傳感器、溫度傳感器、冷卻風(fēng)扇和 LCD 觸摸屏控制器，SEMI-KLEEN 下游等離子體清洗機(jī)還集成了半導(dǎo)體行業(yè)最新的等離子體源設(shè)計(jì)技術(shù)，以降低顆粒產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)。SEMI-KLEEN 等離子清潔器的低顆粒設(shè)計(jì)已獲得半導(dǎo)體資本設(shè)備制造商的認(rèn)可，其性能比競爭對手高出多個數(shù)量級。標(biāo)準(zhǔn)的 SEMI-KLEEN 等離子清潔器使用帶外部天線的高純度石英管。 它可以用來在低壓下產(chǎn)生空氣、O2、Ar+O2、H2 和 Ar+H2 等離子體。專有的天線設(shè)計(jì)降低了等離子體電位，從而減少了源室上的離子濺射。此外，腔室材料經(jīng)過精心挑選，以承受等離子體蝕刻。結(jié)合專有的雙級顆粒過濾技術(shù)，SEMI-KLEEN 等離子清潔器可以滿足英特爾、三星和臺積電等客戶的 PWP 要求。

Semi-KLEEN Quartz石英等離子體清洗機(jī)是全自動的。它支持可定制的配方，無需任何手動調(diào)整，射頻功率和氣體流速（工作壓力）都很高。在寬范圍的工作壓力下（從低于 10 -4 Torr 到高于 2 Torr），可實(shí)現(xiàn)瞬間等離子體點(diǎn)火。由于 SEMI-KLEEN 不需要任何手動調(diào)整，并具有多個傳感器（等離子傳感器，壓力傳感器和溫度傳感器），可實(shí)時監(jiān)控其狀態(tài)，因此它是集成到系統(tǒng)控制軟件中的等離子清潔器。

功能列表

• 全自動和即時等離子點(diǎn)火在非常寬的工作壓力范圍。等離子點(diǎn)火無需手動射頻阻抗匹配。

• 雙級顆粒過濾技術(shù)，幾乎可以去除所有大于 3 nm 的顆粒。

• 用于半導(dǎo)體工業(yè)的低顆粒高可靠性等離子體源設(shè)計(jì)技術(shù)。

• 帶壓力傳感器反饋控制的電子氣體流量控制。用戶可直接指定不同的氣源工作壓力。等離子清洗機(jī)將自動調(diào)節(jié)氣體流量，以達(dá)到配方規(guī)定的工作壓力。

• 等離子體探頭監(jiān)測等離子體強(qiáng)度，以指導(dǎo)用戶設(shè)置優(yōu)良配方。優(yōu)良?xì)怏w流量可以隨著不同的系統(tǒng)泵送速度和腔室尺寸而變化。我們的等離子體清潔器讓用戶可以自由地通過配方改變氣流，并根據(jù)等離子體強(qiáng)度探頭的反饋優(yōu)化源壓力。

• 帶觸摸屏用戶界面的嵌入式微電腦控制器。

• 通過 RS232/RS485 協(xié)議的直觀遠(yuǎn)程 PC 控制用戶界面。

• 微型計(jì)算機(jī)上可定制的 SmartSchedule 功能可以自主地照顧您的系統(tǒng)。

• 支持 60 種可定制食譜。

• 主動式風(fēng)扇冷卻，實(shí)現(xiàn)高功率高速清潔。

• 超溫聯(lián)鎖保護(hù)。