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Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)

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SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子體清洗機(jī)基于勞倫斯伯克利國(guó)家實(shí)驗(yàn)室開發(fā)的高效電感耦合等離子體（ICP）放電技術(shù)。與傳統(tǒng) ICP 放電技術(shù)相比，我們的 Turbo Discharge™技術(shù)進(jìn)一步提高了等離子體強(qiáng)度多達(dá) 3 倍。

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)設(shè)計(jì)用于支持侵蝕性和腐蝕性工藝氣體。等離子室已被更耐化學(xué)腐蝕的藍(lán)寶石管所取代。真空密封設(shè)計(jì)和腔室材料的選擇已被優(yōu)化，以支持等離子體內(nèi)部的腐蝕性自由基。對(duì)于需要對(duì)石英腔室進(jìn)行等離子體蝕刻的應(yīng)用，SEMI-KLEEN 藍(lán)寶石是比傳統(tǒng)石英腔室等離子體源更好的選擇。

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Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)產(chǎn)品應(yīng)用

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)已被用于存款薄膜，在原子層沉積系統(tǒng)中薄膜沉積之前清潔樣品表面，以及從金屬表面清潔碳和氧污染物。客戶的測(cè)試結(jié)果表明，SEMI-KLEEN 等離子體源僅需 2 秒的氫等離子體就可以去除 InGaAs 樣品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 藍(lán)寶石等離子體源可用于僅由渦輪泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的壓力范圍內(nèi)工作。

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