布魯克ContourX系列輪廓儀核心技術(shù)

詳解布魯克ContourX系列輪廓儀核心技術(shù) 在表面計(jì)量學(xué)領(lǐng)域，對物體表面微觀形貌進(jìn)行非接觸、高分辨率的測量是一項(xiàng)關(guān)鍵需求。Bruker的ContourX系列三維光學(xué)輪廓儀，包含ContourX-500、ContourX-200和ContourX-100三個(gè)型號(hào)，為不同需求的用戶提供了多樣化的選擇。該系列儀器基于白光干涉技術(shù)（VSI）和相移干涉技術(shù)（PSI），能夠以納米級(jí)垂直分辨率重建表面的三維形貌。

ContourX系列的核心在于其智能化的自動(dòng)化操作和用戶友好的設(shè)計(jì)。儀器采用穩(wěn)固的鋼結(jié)構(gòu)框架和隔振設(shè)計(jì)，保證了測量過程中的穩(wěn)定性，有效隔離環(huán)境振動(dòng)帶來的干擾。其光學(xué)系統(tǒng)搭載了多種倍率的物鏡，用戶可根據(jù)測量區(qū)域的大小和分辨率要求自動(dòng)切換，無需手動(dòng)操作，既提高了效率，也避免了人為誤差。

在用途上，該系列儀器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、材料、精密制造等行業(yè)。無論是測量硅片的臺(tái)階高度、光學(xué)鏡面的面形，還是機(jī)械零件的粗糙度，ContourX系列都能提供有價(jià)值的量化數(shù)據(jù)。其非接觸的特性使其特別適合測量柔軟、易磨損或需要無損檢測的樣品。

使用說明簡述：

操作流程直觀簡便。用戶將樣品放置在樣品臺(tái)上，通過軟件控制臺(tái)面移動(dòng)至測量位置。選擇合適的物鏡后，軟件會(huì)自動(dòng)完成聚焦和光強(qiáng)調(diào)節(jié)。用戶設(shè)定掃描范圍，儀器即可自動(dòng)完成三維數(shù)據(jù)的采集。隨后，利用分析軟件可進(jìn)行形貌可視化、粗糙度計(jì)算、臺(tái)階高度測量等多種分析。

參數(shù)簡表（系列共通點(diǎn)）：

ContourX系列以其可靠性和易用性，成為表面三維測量的常見選擇。詳解布魯克ContourX系列輪廓儀核心技術(shù)