1.產品概述：
KS-S150星型全自動涂膠顯影機是由沈陽芯源微電子設備股份有限公司研發(fā)的勻膠顯影設備，用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導體的涂膠顯影等制程。可兼容藍寶石、砷化鎵和碳化硅等材質的晶圓，產品涉及多個應用域，涂膠機產能大于190片/小時。設備通過了CSA認證。
2.應用領域：
傳感器芯片制造
光通信芯片制造
功率芯片制造
LED芯片制造
圖形化襯底制造
化合物半導體域
3.產品優(yōu)勢：
1.占地小、穩(wěn)定性高、操作與維護方便；
2.產能高，涂膠機產能大于190片/小時；
3.光刻膠用量小，4寸用量0.6ml；
4.優(yōu)異的流場設計，涂膠均勻性好。
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