Kurt J. Lesker Company OCTOS集群工具是經(jīng)過驗證的研發(fā)和中試生產(chǎn)系統(tǒng)，用于在多個工藝室之間進行真空傳輸。®
典型應用包括磁隧道結(jié)和自旋邏輯器件（GMR、TMR、MRAM、STT）、有機發(fā)光器件（OLED）、太陽能電池（PV、OPV）。
OCTOS 集群工具具有單個或多個基板盒負載鎖定功能，并允許在真空中完成工藝配方步驟，而無需將基材暴露在大氣中。OCTOS能夠自動按順序處理基材，一次處理一個基材，或者并行處理基材，以提高產(chǎn)量。提供底物跟蹤功能，并標配全過程數(shù)據(jù)記錄。
工藝室圍繞中央機器人分配室布置，以適應您的應用。
KJLC 的 eKLipse 軟件允許用戶友好的配方創(chuàng)建以及可靠、不間斷的控制器，無論計算機用戶界面的狀態(tài)如何，都可以完成過程。有關(guān)此直觀、可靠的軟件包的更多信息，請參閱“軟件"選項卡
自 1999 年以來，KJLC 一直在制造 OCTOS 集群工具平臺。我們的大多數(shù) OCTOS 集群工具已成為其所有者的主力軍，并且仍在日常使用，包括已經(jīng)處理了超過 100 萬個基材的工具。
提供的技術(shù)：
電子束蒸發(fā)
熱蒸發(fā)
磁控濺射
有機蒸發(fā)
原子層沉積
選項：
HV 或 UHV 工藝模塊
等離子清洗
基板退火
口罩儲存和原位口罩更換
手套箱集成
定制工藝模塊
轉(zhuǎn)移到真空分析室，如XPS
與第三方工藝室（如 PLD 或 CVD）集成
化工儀器網(wǎng)